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特种气体助力芯片制造新突破

在现代工业的巅峰时期,特种气体被称为围绕整个过程的“血夜”,其纯度和稳定性直接决定了芯片的性能和产量。凭借其在电子特种气体行业的深厚技术积累和严格的质量控制,武汉纽瑞德特种气体有限公司已成为支撑中国芯片行业高质量发展的关键能量。

电子气体



芯片制造是一个复杂的过程,涉及数百个精密过程,其中光刻、蚀刻、薄膜沉积、混合和离子注射等核心环节对特殊气体的纯度要求几乎严格。纽瑞德公司提供的电子级特殊气体纯度稳定保持在5N(99.999%)至6N(99.999%)的水平,可以完全消除气体杂质引入的少量污染物,从而保证纳米电路图案的准确转移和芯片的高性能。

高纯气体

在决定芯片电路精度的核心环节,高纯度霓虹灯的作用至关重要。纽瑞德提供的霓虹灯纯度可达6N(99.999%)以上,是DUV光刻技术中准分子激光的关键气体。其纯度直接关系到光刻技术的精度,保证了芯片上纳米电路图案的精度雕刻。此外,纽瑞德的5N级(99.999%)极高纯六氟化硫在芯片低温等离子蚀刻工艺中发挥了优异的作用,能够满足7nm以下先进工艺的严格要求。这种气体的高纯度确保了各种蚀刻

除上述关键气体外,纽瑞德还为半导体器件光刻技术和超导体研究等对清洁度要求较高的阶段提供高纯氮气和氢气等商品。公司建立了一条完整的产品线,包括8个系列和50个品种,可以为芯片制造公司提供一站式气体解决方案。

纽瑞德的优势不仅体现在商品的纯度上,还体现在其建立的全链质量保证机制上。企业实施ISO 9001质量认证体系根据高精度色谱分析仪等设施实时监控从原材料进口到生产灌装的各个环节,确保产品批次的一致性。例如,在六氟化硫的生产中,它可以控制关键杂质,如含水量和酸值≤0.1ppm的国际先进水平。这种严格的质量控制促使纽瑞德气体产品能够满足半导体设备对杂质含量的最终规定。

高纯氮气

特别值得一提的是,纽瑞德在燃气电子业务系统方面具有独特的优势。公司拥有电子应用实验室,可为客户提供个性化的研发应用,如蚀刻速度评估,帮助客户改进生产过程。这种技术支持能力使它不仅是一家燃气供应商,也是芯片制造企业的技术合作伙伴。

随着人工智能、5g和物联网技术的不断发展,对半导体芯片性能的要求不断提高。凭借其高纯度、高性能的气体产品和扎实的技术实力,纽瑞德特种气体有限公司将继续为半导体产业的发展提供可靠的材料基础,成为中国芯片制造产业链中不可或缺的一部分。


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