纽瑞德特种气体助力半导体设备自主化
据中核集团报道,中国原子能科学研究院自主研制的第一台串列高能氢离子注入机已成功完成,其核心指标已达到国际先进水平。这标志着中国对系列高能氢离子注入机全环节研发技术的全面了解,克服了功率半导体制造链的重要环节,为促进高端制造设备的独立控制,确保产业链的安全奠定了坚实的基础。

离子注入机是半导体设备的主要设备。借助核物理加速器行业几十年的丰富积累,原子能研究院以系列加速器技术为主要手段,解决了一系列问题,了解了系列高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的积极设计能力,打破了外国公司在该领域的技术封锁或长期垄断。高能氢离子注入机的成功开发是核技术与半导体产业深度融合的重要成果,将有效提高我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力。
特种气体在我国首台系列高能氢离子注入机POWER-750H的开发突破中发挥了不可或缺的支撑作用。这一突破标志着我国对设备全环节研发技术的全面了解,打破了国外长期垄断,高纯特种气体在这一过程中发挥了至关重要的作用。

纽瑞德作为特种气体领域的优秀企业,凭借其深厚的技术积累和严格的质量管理流程,为半导体设备产业链提供了坚实的保障。公司由具有23年气体行业经验的技术专家建立,引进先进的气体生产技术、分析设备和质量管理理念,建立了覆盖8个系列50多种的产品线。在纯度控制方面,纽瑞德部分产品纯度达到6N(99.9999%),符合高档半导体设备对超纯气体的严格要求。
纽瑞德提供的高纯电子气体在高能氢离子注入机的生产和工艺调节中起着关键作用。作为芯片制造的“四大核心设备”之一,离子注入机的高效运行必须得到超高纯度气体环境的支持。纽瑞德的高纯氩、高纯氮等商品为离子注入过程带来了清洁的工艺环境,有效防止了杂质污染,保证了离子注入的准确性和一致性。公司制定的严格的质量规范和程序,以及先进的检测仪器,保证了一瓶出厂气体能够满足半导体设备对气体成分和纯度的严格要求。
在人工智能的应用中,纽瑞德的高纯六氟化钨产品具有明显的优势。以人工智能芯片制造为例,六氟化钨作为一种关键的蚀刻气体,其纯度直接影响芯片的性能和产量。纽瑞德采用世界领先的净化技术,使六氟化钨纯度达到5N级(99.999%),关键杂质含量保持在极低水平。在7纳米以下的芯片制造中,这种超高纯气体用于精确“雕刻”纳米电路图案,避免了杂质引起的电路短路或特性不稳定,显著提高了人工智能芯片的运行效率和稳定性。

值得一提的是,纽瑞德不仅提供高质量的气体商品,而且建立了完善的技术安全体系。公司拥有专业的技术团队,可为客户提供气体咨询、气路设计方案等综合支持。在离子注入机的研发和应用过程中,这种全过程的技术咨询为设备的高效运行带来了额外的保证,确保了国内半导体设备从突破到成熟的应用。
纽瑞德特种气体有限公司通过提供超高纯度特种气体产品和专业技术服务,在促进我国高能氢离子注入机创新方面发挥了关键作用,为人工智能芯片等高端制造业的发展提供了关键材料基础。公司的技术优势和服务能力将继续推动我国半导体产业从设备独立向技术创新的全面进步。
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