氦质谱检漏仪是以高纯度氦为泄漏气体的质谱仪和氦气分析仪。真空容器泄漏检测技术是国内外应用最为先进的技术。与传统的泄漏检测技术相比，氦质谱泄漏检测技术具有快速、准确、灵敏度高、无损伤等优点。氦质谱检漏仪的示踪气体也可能是其他元素。但是，通常使用氦，因为它具有以下特性：

1.空气中氦含量很低，仅占20万分之一左右，很容易找到；

2.氦分子体积小，重量轻，易于扩散，比其他气体更容易通过泄漏孔；

3.氦离子的电荷质量比低，易于质谱分析；

4.氦无毒、无味、对大气无污染。

5.氦气是一种化学稳定的惰性气体，不会腐蚀和损坏设备；

6.氦无毒，不凝结，极难储存在水中。

由于这些特点，氦泄漏检测的应用已经从研究机构扩展到工业企业，甚至是个体企业。可以说，范围非常广泛。