元素硫和元素氟的直接合成在国内外六氟化硫生产中得到了广泛的应用。合成的sf6粗品一般含有约5%的杂质，其中s2f2、s2f10、sof2、so2f2、so 2、hf、cf4、o2、n2等10种杂质，纯度大于99.9%。但是，由于净化工艺、填料等因素，高纯度的新鲜SF6气体仍可能造成质量问题，因此有必要对新鲜SF6气体进行验收，然后检查采购产品和质量是否符合出厂报告和采购合同。

每批出厂高纯六氟化硫必须附有一定形式的质量证明书，主要内容包括生产厂家名称、产品名称、生产批号、瓶号、气体净重、生产日期和适用标准号。用户应先向厂家索取并核对产品出厂报告。

高纯六氟化硫气瓶应标明生产厂家名称、产品名称、批号、气瓶号和产品商标。气瓶油漆的颜色和文字应符合GB 7144-1999中气瓶的色标，标签应符合GB 16804-1997的要求。

用户应按标准验收收到的工业SF6，验收应在货物到达之日起一个月内进行。用户应按标准从新的高纯六氟化硫气瓶中抽取一个样品，送监理检测单位进行质量抽检。

六氟化硫浸出试验结果中有一项指标不符合GB/T 12022的要求时，应从一个样品中按装箱量的两倍进行复验。即使一项复验结果指标不符合标准要求，整批产品也不合格。