如何储存超高纯氮气

诸如氮气的超高纯度气体通常用作集成电路、半导体和电子真空器件制造中的保护气体和载气，用作化学气相沉积中的载气，用于液体扩散源的载气以及用作高温扩散炉中设备的保护气体。
在外延、光刻、纯化和蒸发等工艺中，高纯度氮气被用作挤出、干燥、储存和运输的气体。在图像管的生产中，氮的纯度必须在99.99%以上。在空间技术中，液氢填充系统必须首先用高纯度氮代替，然后用高纯度氮气代替。
对于超纯气体，任何微小的污染都会严重影响气体的质量，因此气体储存和运输过程中的清洁度和高密封性尤为重要。最纯净的气体主要储存和运输在高压钢瓶或低温液化气罐中。
高压钢瓶坚固耐用，运输使用灵活，没有气体损失，但气体纯度和稳定性较差；低温液化气容器每体积单位具有较大的储存容量，但存在气体排放损失。