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电子级六氟化硫逐渐实现国产替代

六氟化硫(化学式:SF6)在正常条件下是一种无色、无味、无毒、无味和不易燃的气体。作为一种电子气体,六氟化硫具有良好的化学稳定性、耐腐蚀性、电绝缘性和耐热性。广泛应用于半导体、电力设备、航空航天、半导体制造、金属加工、医药等领域。根据应用领域的不同,六氟化硫可分为工业六氟化硫和电子六氟化硫。近年来,随着大规模集成电路技术的进步,市场对电子气体的纯度和质量提出了越来越高的要求。在此背景下,六氟化硫行业正逐步从工业质量升级为电子质量。

市场需求升级 电子级六氟化硫逐渐实现国产替代

电子质量六氟化硫可用作大型集成电路(如半导体和显示设备)的蚀刻和清洁过程中的氟源和蚀刻气体。电子六氟化硫作为一种高附加值精细化工产品,具有一定的技术、研发和应用价值D和资本限额。在早期阶段,由于技术限制,中国电子质量六氟化硫的生产能力不足,其产品高度依赖进口。随着进入21世纪,我国电子产业发展迅速,国内市场对电子级六氟化硫的需求迅速上升,自主生产电子级六氟化硫的需求迫切。

市场需求升级 电子级六氟化硫逐渐实现国产替代

根据新四杰工业研究中心发布的《2021至2025年中国电子六氟化硫市场可行性研究报告》,近年来,随着中国半导体产业的不断发展,电子六氟化硫的市场需求加快,中国电子六氟化硫的生产能力近年来加快。六氟化硫增加。目前,中国有许多六氟化硫制造公司,但具备大规模生产电子六氟化硫能力的公司很少,主要包括雅克科技、昊华科技及其子公司黎明化工研究设计院。其中,钙化学研究设计院在国内电子六氟化硫市场占有70%左右的市场份额,公司的电子六氟化硫产品纯度已达到5.5n。


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