六氟化硫在常温常压下为无色无臭无毒的气体。不燃烧。对热稳定，化学性质不活泼。在500℃以上炽热状态下也不分解，在800℃以下很稳定。在250℃与金属钠反应。没有腐蚀性，可以用通用材料，不腐蚀玻璃。电绝缘性能和消弧性能好，绝缘性能为空气的2~3倍，而且气体压力越大，绝缘性能越增高。药物学性质不活泼，没有毒。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于盐酸和氨。水中的溶解度为：（分压101.325kPa，25℃）。介电常数为：1002049（气体，101.325kPa，25℃）。在21.1℃时S.P.为2308kPa。

制法
在高温下硫和氟反应制得。
S+3F2→SF6

用途
电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气体绝缘体，制冷剂，示踪装置，医疗，半导体制造中的蚀刻、化学气相淀积、标准气，检漏气体，色谱仪的载气。

毒性
最高容许浓度：10ppm（12mg/m3）
六氟化硫在生理学上是不活泼的，在药理学上认为是惰性气体。但是当含有等杂质时便变成有毒物质。当吸入高浓度时可出现呼吸困难、喘息、皮肤和黏膜变蓝、全身痉挛等窒息症状。

安全防护
用气装置可用肥皂液检漏。无腐蚀性，可以使用不锈钢、铜、铝等通用材料。发生火灾时可用水和砂土灭火。泄漏的气体，可导入苛性钠和消石灰的混合溶液中处理，或者把泄漏的气瓶放入通风橱内。