电子气体安全越来越严格

电子气体可能造成污染、损坏、毒性、火灾和爆炸等危害，不同国家、地区和行业组织对其危
害进行了详细分类。对于大型电子装置，可以使用和储存一定数量的电子气体，而不会有太多
的“大规模杀伤性武器”。日常规划、施工和运营中的所有安全风险都可能给工厂、员工和环
境造成重大灾难。

如何确保电子气体的安全储存、使用和操作，以及工艺和产品系统的安全计划，详细说明在许
多国际标准和规范中，如SEMI、NFPA、CGA、FM等。中国也在制定特殊电子气体的标准和
规范。气体室通常根据气体特性和相容性分为燃烧气体室、腐蚀性气体室、惰性气体室、筒仓
气体室和三氟化氯气体室。气体空间规划应考虑建筑物的防火、爆炸、防火距离和爆炸以及危
险物质的数量控制。前方运输系统，特别是BSGS系统，由于体积大，必须使用单独的建筑物。
气室和气柜应采用自动喷水灭火系统。如果三氟化物会导致空气堵塞，人们可能会怀疑是否有
一个系统会产生二氧化碳。

该装置的电子排气系统还分为普通排气系统（GEX）、酸性排气系统（SEX）、排气系统（VEX）
和氨排气系统（AEX）。更换气缸时，还建议在排气过程中释放废气。

输送管道一般采用SS316L EP管道，无静音。该结构采用自动轨道焊接，经过压力维护、氦气
泄漏检测和纯度测试。对于剧毒、高反应性和自燃气体，必须使用双套管输送。一些剧毒气体，
如磷酸盐和砷化物，广泛用于安全运输系统（SDS）。铁缸采用负压吸收，通过真空移动，基
本上避免了气体泄漏。

气体检测系统（GDS）是生命工厂安全系统（LSS）的重要组成部分。出于检测目的，除了高
精度和快速响应外，它们还必须具有自助服务功能。