由于特气的性质及用量不同，特气系统的输送方式有多种，但绝大部分特气输送系统都由以下5个部分组成。

1.供气设备（BSGS、GC、GR）

BSGS（大宗特气输送系统）

此系统与大宗特气气源连接，通过全自动控制为工艺设备精确高效的输送和供应特种气体。全自动大宗特气输送柜主要有三部分：

内部的气盘、输送柜柜壳及柜体上方的可编程控制器。气盘是输送柜内部的主体结构，主要由面板、气动阀、调压阀、

压力传感器及真空发生器等构成。

其外壳主要由冷轧钢板及安全玻璃构成，具有防爆防漏的功能。柜体上部为可编程控制箱。

输送柜可通过触摸屏式控制箱的控制以及真空发生器抽真空、电磁阀控制气动阀气源等实现自动吹扫功能，能够最大限度的减少人工操作。

另外，输送有毒或有腐蚀性特气的输送柜都配有排风装置，一旦设备内的钢瓶或者接头有特气泄漏，

大部分泄漏特气可被排风管道抽走，同时可触动输送柜排风管道上的气体侦测器产生泄漏报警信号，自动关断输送气动阀。

GC（气柜）

GC的工作原理与BSGS相同，但GC的密封性更好，且钢瓶是放在气柜内的。GC有更强的防爆功能。

但GC的气体流量没有BSGS大，其阀门管道等配件的使用尺寸都小于BSGS。

GR（特气架）

GR主要用于惰性气体的输送，GR内主要部件和GC大体一致，减少了柜体和一些电子传感器件，同时没有自动吹扫功能，

钢瓶交换过程主要由人手动操作完成。

2.气体分配设备（VMB、VMP）

当多台工艺设备均使用某一种特种气体时，行业内使用VMB（阀门分配箱）或者VMP（阀门分配盘）

将集中供气气源通过多条支路上的阀门等装置分流到各个工艺设备供其使用特气。

VMB与VMP的工作原理相同，只是VMB多一个外壳，增加其密封性，且装有排风设施保持柜体内负压。

VMP一般输送惰性气体，VMB则输送有毒有害、易燃易爆的气体。

3.尾气处理设备

特气供气设备在进行钢瓶交换时都要进行管道吹扫操作，如所供特气为有毒、腐蚀性及易燃易爆的气体时，

则吹扫排出的气体不能直接排放，需要经过尾气处理装置处理符合环保标准后才能排放。

有毒、腐蚀性及易燃易爆的气体在经过工艺设备使用后也需要做相应的处理，才能安全排放。

尾气处理设备根据需处理的特气性质有多种类型，常见的有燃烧式、吸附式、水洗式等方式。某些特气在处理时需要多种方式组合才能去除其有害特性。

4.特气监控及侦测系统（GMS、GDS）

GMS是对气体设备运行状态的实时监控和记录，例如输送压力如何，设备有无异常、警报等。同时GMS具有多种历史查询功能，

可反馈记录时间内任一时段的压力曲线、报警记录等。

GDS主要由气体探测器、报警控制器和装有专门软件的计算机组成。报警控制器通过PLC联动控制特气设备气动阀的电磁阀，并发出声光报警。

某些GDS的报警控制器还联动相应的风机，一旦特气泄漏除了自动关闭特气设备供气阀门外，还能启动该房间的强制排风。

特气中的惰性气体无需对应的气体侦测器进行监控，只检测所在环境中的氧气浓度。而对于工艺设备而言，

当使用多种有毒、易燃易爆或腐蚀性的特气时，需配备多种对应的气体侦测器。

GMS及GDS系统一般设置一级报警和二级报警两个级别，对应黄色和红色声光警报。GMS系统中警报的设定值一般是根据工艺要求的特气输送压力来设定的，

而GDS的警报值是根据该特气的TLV值来设定的。一般GDS系统一级警报的设定值为该特气的TLV值的一半，二级警报的设定值为该特气的TLV值。

5.特气输送管道

特气的输送管道是由具备专门气体管路焊接资质的人员才能进行焊接的，管道焊接安装完成后，需经过专业的技术人员进行五项测试，

如保压、氦检、颗粒测试、水分测试、氧份测试。对于输送腐蚀性气体的管道还要进行钝化操作。

特气输送管道的材质和接头形式也有指定要求，目前特种气体多使用SUS316L EP级不锈钢管，接头形式为VCR方式。对于高毒特气需使用双套管的形式来输送，

内管与外套管之间进行抽真空操作，并安装负压表实时监控其真空度。内管采用EP级不锈钢管，外套管可采用BA级不锈钢管。对于特气中的惰性气体也一般采用BA级不锈钢管。