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氦气是理想的检漏气体

首先,因为最外层的电子是氦2,氦只有一个电子层,所以第一个电子层是2,这意味着已经获得了稳定的结构。因此,氦的化学性质相对稳定,不易反应或爆炸。在一些有价值的设备中,如飞机和宇宙飞船,氦是首选的泄漏检测气体。然而,氦在自然界中储量很少,而且价格昂贵。为了节省成本,一些公司选择氢气和氮气混合气体作为检漏气体,或直接使用氮气作为检漏气。

半导体中氦的泄漏检测

为了防止半导体器件、集成电路和其他组件的表面因废水和蒸汽等杂质而退化,必须使用管壳进行密封。然而,由于各种原因,壳体的密封部分或导线接头上经常出现一些肉眼难以发现的小孔。因此,在包装组件后,必须采取一些方法来检测这些小孔的存在。氦泄漏检测使用氦来检查电子元件外壳上的小泄漏。由于氦原子的尺寸很小,很容易穿过小孔并穿透外壳,因此这种检测方法可以检测到尺寸很小的小孔(即可以检测到漏气率约为10的小孔)−11~10−12cm3/sec,灵敏度可以与放射性泄漏检测方法相一致,但它比放射性泄漏检测方法更容易。氦气检漏试验方法:首先将包装好的部件放在充满氦气的容器中,并对其施加压力,使氦气通过一个小孔渗入壳体;然后取出,用压缩空气吹走管壳表面剩余的氦气;然后使用质谱仪检测管壳外表面的氦泄漏。


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