全气体支持: 包括但不限于He, H2, 5%H2/95%N2, D2, He3, Ar, Ke, Ne, Xe, N2, CO2, CO, CH4, 各种卤素/冷媒, 混合气体...)。 全量程、全压力支持:8 ~ 10-12 mbar.L/sec, 0-40Mpa;并支持同时指定压力和漏率精确定制。
气体类型 | 氦气He、空气Air、氩气Ar、 氮气N2、二氧化碳CO2、冷媒R12冷媒R22、氢气H2、氘气D2、SF6、氖气Ne、氙气Xe、冷媒R134a、甲烷CH4氪气Kr、冷媒R404a、冷媒R290、一氧化碳CO、冷媒R407c、冷媒R410a、冷媒R600a、客户指定气体类型 |
阀门类型 | 无阀门 手动截止阀 3通电磁阀,24VDC 零流量阀门 气动阀 全金属阀门 |
漏率大小a (漏率=a x 10⁻⁶) | 1.0-9.9; 量程内任意值; 低位任意值:1.0-3.9; 中位任意值:4.0-6.9、; 高位任意值:7.0-9.9 |
漏率量级b | +2到-13 |
校准点个数n | 单个校准点;整数,数量不限 |
出口接头 | KF16;KF25;KF40;3/4"直管;1/4MVCR;1/4 Swagelok;1/8NPT内丝;1/4NPT外丝;10-32UNF外丝;3/8"直管;1/8NPT外丝;1/4NPT内丝;吸枪适配口;CF40;G1/8外丝(带O圈);G1/8外丝(带O圈); G1/4外丝(带O圈);CF16 M8外丝;R1/8外丝;KF50;10-32UNF内丝;R1/4外丝;Staubli RBE03 |
人口接头或气室规格 | 50cc气室,6MPa;75cc气室,6MPa;110cc气室,12MPa;300cc气室,12MPa;160cc气室,12MPa;双气室(液+气,冷媒);1000cc气室,12MPa;客户指定气室;1/8NPT内丝;1/8NPT外丝;1/4NPT内丝;1/4NPT外丝;1/4MVCR;G1/8外丝(带O圈);G1/4外丝(带O圈);1/4 Swagelok;CF40;CF16;M10外螺纹;3/8"直管;10-32UNF外丝;R1/8外丝;R1/4外丝;客户定制接口 |
漏率单位 | atm.cc/sec sccm mbar.l./sec Pa.m³/sec g/y(克/年) |
出口端压力 | 真空 大气 其他选项 无压力表 带压力表 客户有特殊要求 |
气体浓度(混合气体时适用) | 指定气体和混合比 |
压力单位(仅无源漏孔适用) | PSI-绝压 PSI-表压 标准大气压-绝压 bar-绝压 mbar-绝压 Kpa-绝压 Kpa-表压 bar-表压 MPa-表压 |
气源压力值(无源漏孔适用) | 数值 |
总/分漏率(混合气体时适用) | 分漏率 总漏率 |