随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展， 特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类，从应用领域划分， 主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。

近年来，随着下游应用领域的逐步扩展，特种气体的品种也与日俱增， 据不完全统计，我国已有的特种气体达260余种。

电子气体主要分为氢化物（超纯氢、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等） ，碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目前，我国电子气体品种基本齐全， 但数量和质量与发达国家相比，尚有较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展， 对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。

标准气体又分为单标气体和多元标准气体。目前，标准气体基本满足了 我国石油、化工、环保、传感器校准等诸多领域的应用。但对活性较强的标准气， 国内尚无法彻底解决量产的问题，如氯标气、氯化氢标气等。

高纯气体即为大家熟知的氧气、氮气、氢气、氦气、氩气等 （纯度通常都是大于99.999%的）。高纯气体大多用于超大规模 的集成电路及分离器件、光电子等高科技领域。当前国内公司主要 靠精馏分离制备高纯气体，国外公示在制备某些高纯气体时采用吸附剂 净化的方法，实现了常压净化和高压提纯充瓶。 国内技术在这方面进来虽有所突破，但提纯技术还有待提高。

电子气体主要分为氢化物（超纯氢、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫 、三氟化氮、四氟化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目 前，我国电子气体品种基本齐全，但数量和质量与发达国家相比，尚有 较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展， 对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。