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六氟化硫客户

随着近年来国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展, 特种气体行业新兴起来。特种气体是工业气体中的一个新兴门类,从应用领域划分, 主要有电子气体、高纯气体、标准气体三大类。

近年来,随着下游应用领域的逐步扩展,特种气体的品种也与日俱增, 据不完全统计,我国已有的特种气体达260余种。

电子气体主要分为氢化物(超纯氢、硅烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等) ,碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙烷等)。目前,我国电子气体品种基本齐全, 但数量和质量与发达国家相比,尚有较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展, 对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。

标准气体又分为单标气体和多元标准气体。目前,标准气体基本满足了 我国石油、化工、环保、传感器校准等诸多领域的应用。但对活性较强的标准气, 国内尚无法彻底解决量产的问题,如氯标气、氯化氢标气等。

高纯气体即为大家熟知的氧气、氮气、氢气、氦气、氩气等 (纯度通常都是大于99.999%的)。高纯气体大多用于超大规模 的集成电路及分离器件、光电子等高科技领域。当前国内公司主要 靠精馏分离制备高纯气体,国外公示在制备某些高纯气体时采用吸附剂 净化的方法,实现了常压净化和高压提纯充瓶。 国内技术在这方面进来虽有所突破,但提纯技术还有待提高。

电子气体主要分为氢化物(超纯氢、硅烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫 、三氟化氮、四氟化硅等),碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙烷等)。目 前,我国电子气体品种基本齐全,但数量和质量与发达国家相比,尚有 较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展, 对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。

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